Forschung und Entwicklung

Thermoelektrische Strukturen und Bauelemente, wie z. B. Low Power Thermogeneratoren, Infrarot-Detektoren und Wärmeflußsensoren können applikationsspezifisch über Dimensionierung, Layout und Design bis zum Prototyp entwickelt werden.

Dünnschicht-Strukturen Die Schicht- Strukturierung erfolgt entweder mittels Maskentechnik oder durch Fotolithografie und naßchemisches Ätzen. Z. Z. sind Strukturen bis zu 20 µm realisierbar. Das Bild zeigt eine Dünnschicht-Anordnung von Thermopiles auf einer Folie.

Langjährige Erfahrungen auf dem Gebiet der Thermoelektrik garantieren kompetente Beratung und Studien über den Einsatz von Thermogeneratoren und Thermosensoren.
 

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D.T.S. • Gesellschaft zur Fertigung von Dünnschicht-Thermogenerator-Systemen mbH
Köthener Str. 34 • D-06118 Halle 
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last update: 07/2002